半导体设备2024年中报亮点：营收翻倍、利润各领风骚，国产高端设备扬帆起航

收入端高增：后道厂商受益景气复苏，前道设备受益产品验收节奏恢复我们对中微公司、北方华创、盛美上海、拓荆科技、华海清科、中科飞测、芯源微、京仪装备、至纯科技、长川科技、华峰测控、金海通这12家半导体设备公司进行分析。2024H1，12家半导体设备营收同比增长37.33%，增幅继续维持在30%以上。因景气复苏以及测试机业务放量，长川科技2024H1营收同比以及2024Q2营收环比均高增。因此前交付的机台验收节奏持续恢复，2024Q2拓荆科技、芯源微营收环比分别增长68.53%、84.02%。

利润端：后道设备利润增速在2024Q2明显改善，前道设备利润表现分化2024H1，12家半导体设备公司归母净利润同比增长11.43%，扣非归母净利润同比增长13.95%。后道设备公司中，长川科技2024H1归母净利润同比增长949.29%。华峰测控、金海通2024H1归母净利润同比均下降，但2024Q2利润明显改善，分别环比增长279.94%、66.42%。前道设备公司利润表现分化，北方华创作为设备龙头的规模效应持续显现，2024H1归母净利润、扣非归母净利润同比分别增长54.54%/64.06%。拓荆科技因产品逐步实现验收，2024Q2扣非净利润转负为正。因处于产品线拓展关键时期、研发投入大幅增长，中科飞测、中微公司2024H1扣非归母净利润分别同比减少4992.21%、6.88%。

发出商品和新增订单持续提升，前道设备表现明显优于后道

2024H1，11家半导体设备公司发出商品余额总计114.8亿元，相比期初增加45.56亿元。其中，中微公司2024H1发出商品余额相比期初增加值最多，为18.98亿元，发出商品高增为2024年下半年确收打下良好基础。从订单来看，中微公司2024H1新增订单47亿元，同比增长40.3%，刻蚀设备新增订单同比增长50.7%。公司全年总订单预计达到110-130亿元。拓荆科技2024H1新增订单同比增加63%，2024Q2新增订单同比增长93%。2023年开始，国内先进晶圆厂采招开始边际加速，设备公司新增订单高增体现出高端设备国产化持续大力推进。

前道设备公司加大研发、持续推新，逐步补齐我国高端半导体设备短板环节2024H1，12家半导体设备公司研发总收入53.3亿元，同比增长51.43%。其中，中微公司、中科飞测研发投入同比增幅最大，分别达到110.8%、114.2%。刻蚀领域，中微公司正在开发超低温、超低频RF的90-100:1极高深宽比刻蚀设备、用于5-3纳米逻辑芯片制造的ICP设备Beta机继续在客户端开展制程验证。薄膜沉积领域，拓荆科技最新推出应用于晶圆背面沉积的PECVDBianca设备、超高深宽比沟槽填充CVD以及新型反应腔pX和Supra-D；中微公司已实现六种设备研发交付及通过客户量产验证。量检测：中科飞测新增布局电子束关键尺寸量测设备。涂胶显影:芯源微新一代超高产能架构前道涂胶显影机持续推进研发。

风险提示：应用于先进逻辑、存储的高端设备国产化进度不及预期。

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